Young Shin Quartz

석영 튜브

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ALD / LPCVD / Diffusion Process에 사용되는 석영 튜브

ALD / LPCVD / Diffusion Process 등 반도체 박막 증착 과정 중 미세화 공정에 반드시 필요한 석영 튜브를 사용하여 웨이퍼 보호 및 고품질의 박막을 제조하는데 중요한 역할을 합니다.

제품특징

본 제품의 제조는 청정도 10,000이하의 작업 환경에서 열 성형 및 용접이 되어 초 순수(18㏁)로 세정 후 제품이 생산되며, 청정도 1,000이하의 검사실에서 검사, 출하 전 세정 및 포장을 합니다. 공정중에 이물질이 Si-Wafer에 혼입되는 것을 방지 및 적정압력을 유지합니다. ALD 공정용은 초고순도 제품으로 불순물(CU) 함량이 기존 제품에 비해 1/5로 적으며, 국내 최초로 품질 인증을 받아 생산하고 있습니다.