Young Shin Quartz

석영 보트

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ALD / LPCVD / Diffusion Process에 사용되는 석영 보트

ALD / LPCVD / Diffusion 공정 중 석영보트에 웨이퍼를 적재하고, 웨이퍼 표면에 박막 증착을 안정화 시키기 위하여 초미세화, 고직접화를 돕는 반도체 제조공정에 중요한 역할로 사용하고 있습니다.

제품특징

본 제품의 제조는 청정도 10,000이하의 작업 환경에서 열 성형 및 용접이 되어 초 순수(18㏁)로 세정 후 제품이 생산되며, 청정도 1,000이하의 검사실에서 검사,출하 전 세정 및 포장을 합니다. ALD 공정용은 초고순도 제품으로 불순물(CU) 함량이 기존 제품에 비해 1/5로 적으며, 국내 최초로 품질 인증을 받아 생산하고 있습니다.