Young Shin Quartz

Pedestal

  • HOME > 제품소개 > Pedestal

ALD / LPCVD / Diffusion Process에 사용되는 석영 Fin padastal

석영보트의 받침대 역할로써 공정에서 열 및 광을 차단하여 일정 온도를 유지해 주어, 웨이퍼 표면에 박막 증착을 균일하게 할수있게 돕는 중요한 역할로 사용하고 있습니다.

제품특징

본 제품의 제조는 청정도 10,000이하의 작업 환경에서 열 성형 및 용접이 되어 초 순수(18㏁)로 세정 후 제품이 생산되며, 청정도 1,000이하의 검사실에서 검사,출하 전 세정 및 포장을 합니다. 본 제품류는 열 및 광 차단을 위해 고순도의 불투명 석영 자재를 사용합니다.